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１    一種鋁鈦復合材料用拋光液及其制備方法

       將金剛石微粉、硅溶膠、潤滑劑、表面活性劑、分散劑、改性硅院偶聯(lián)劑等原料進行復配得到鋁鐵復合材料用拋光液，其中改性硅；院偶聯(lián)劑可以提高金剛石微粉等拋光液磨料與有機添加劑的相溶性，它能夠在無機材料和有機材料之間架起一座橋梁，使它們之間能夠更好地結(jié)合和相互作用，進而改善拋光液的整體性能，提高拋光液的穩(wěn)定性和分散性，確保拋光液在使用過程中能夠均勻、穩(wěn)定地作用于材料表面。其組分中未采用磷酸和硝酸，且未含磷不口氮元素，不會對環(huán)境產(chǎn)生磷和氮相關(guān)的污染，囚而環(huán)保性較好。

２    一種Ｍａｘ相ＴｉＡｌＣ材料的拋光方法及所制備的Ｍａｘ相ＴｉＡｌＣ拋光材料

       包括如下步驟：采用拋光墊和擴１ｆｔ光液進行拋光，拋光液中磨料為金剛石，金剛石的質(zhì)量為拋光液質(zhì)量的ｏ?。欤鳌。簦ァ担鞯A，拋光液中金剛石的粒徑為３０ｎｍ～２５０ｎｍｊ　拋光墊的硬度為邵氏硬度Ａ３０～９０度；拋光墊的密度為０．３～０．７ｇ／ｃｍ２　。本發(fā)明提供的Ｍａｘ相ＴｉＡＩＣ材料的拋光方法，利用拋光墊代替固結(jié)磨粒的研磨盤加工，大大簡化了工藝。

３    一種金剛石用拋光液及金剛石化學機械拋光方法

       金剛石用拋光液由去離子水、金剛石微粉、鐵粉、催化劑及分散劑混合后攪拌均勻而成；通過在拋光液中參入鐵粉，鐵粉能夠降低金剛石石墨化的活化能，對金剛石表面進行催化作用，這種催化作用加劇了金剛石向石墨的轉(zhuǎn)變，使金剛石表面變得十分柔軟，從而使金剛石表面碳原子更容易脫離。鐵粉催化的作用加快了金剛石材料的拋光去除過程，使得金剛石拋光能在短時間內(nèi)達到理想的表面５　質(zhì)量和精度。

４    一種用于高硬度材料的水溶性金剛石研磨膏及其制備方法

       用于高硬度材料的水溶性金剛石研磨膏，該水溶性金剛石研磨膏包括硬脂酸１０－８０份、人造金剛石微粉２－２００份，如此得到的水溶性金剛石研磨膏可以應用于高硬度材料的研磨拋光，且易清洗、潤滑、冷卻效果極佳，且可以有效提高研磨效率；對高硬度碳化嗎材質(zhì)進行打磨，其研磨結(jié)果表面，碳化嗎材質(zhì)的表面粗糙度Ｒａ為０．０５５川，相對未打磨前的粗糙度明顯降低，材料表面干凈、劃痕少，且易清洗。

５    一種油性金剛石研磨膏及其制備方法

       可以應用于該用于高硬度材料的油性金剛石研磨膏。同樣地，用于高硬度材料的油性金剛石研磨膏的有益效果可以應用于用于高硬度材料的油性金剛石研磨膏的制備方法。

６    用于不銹鋼小游隙關(guān)節(jié)軸承的研磨膏

       解決了軸承安裝收口后軸承外國受收口力作用而產(chǎn)生變形，擠壓內(nèi)圈從而導致軸承安裝收口后出現(xiàn)卡滯抱死的問題。該方法推廣實施性較強，適用于各種關(guān)節(jié)軸承研磨過程，提高軸承研磨后的實物質(zhì)量，可廣泛應用于航空、航天、汽車、輪船等行業(yè)的關(guān)節(jié)軸承安裝固定。

７    一種化學機械拋光劑及化學機械拋光工藝

       包括無機納米顆粒，且無機納米顆粒至少包括二氧化鈰納米顆粒、二氧化硅納米顆粒和金剛石納米顆粒，適用于拋光硬度更大的襯底如ＳｉＣ　襯底、Ａ１?。玻埃骋r底、金剛石襯底等，同時該化學機械拋光劑大幅度地提高了拋光的效率，提升了拋光厚度司的均勻性，另外，無機納米顆粒的納米尺寸也抑制了化學機械拋光工藝中常見的劃傷缺陷，為半導體器件良率的穩(wěn)定性提供了足夠的保障。

８    一種多晶金剛石用拋光液及拋光方法

       提供多晶金剛石用拋光液包括金剛石微粉、高錳酸鉀和水，金剛石微粉、高錳酸鉀和水的質(zhì)量比為（０．５～２）：（３～１０）：１００，多晶金剛石用拋光液采用稀硫酸調(diào)節(jié)ｐＨ至２～５。利用大粒徑的金剛石微粉和水混合配制研磨液對待加工多晶金剛石樣品進行研磨，然后采用拋光液對研磨后的多晶金剛石樣品進行拋光。能夠?qū)崿F(xiàn)多晶金剛石表面的高效拋光，且獲得金剛石膜表面超光滑，結(jié)構(gòu)無損傷，表面粗糙度可低至１ｎｍ以下，能夠滿足制造超硬切削工具、半導體、紅外光學窗、高性能散熱器等領域的基本要求。

９    一種二氧化錳包覆金剛石復合磨粒及制備方法、拋光液及制備方法

       通過高錳酸鉀與稀鹽酸反應得到二氧化瞌化學沉積在金剛石表面，得到二氧化錳包覆金剛石的復合磨粒。本發(fā)明的新型拋光磨粒，相比于傳統(tǒng)金剛石磨粒，可以得到更高的材料去除卒，實現(xiàn)了最佳的拋光性能。

１０ 一種用于碳化硅襯底ＤＭＰ的團聚鉆石研磨液的制備方法

       其中制備方法包括以下步驟：Ｓ１、原料處理，包括：原料分選、原料酸洗、原料漂洗、原料烘干；Ｓ２、霧化干燥；Ｓ３、燒結(jié)成型；Ｓ４、精密分選；Ｓ５、干燥；Ｓ６、研磨液制備，包括：粉體改性、將改性后的原料配比稱重、將稱重后的原料攪拌混合、罐裝，得到團聚鉆石研磨液。通過采用團聚金剛石以及其他軟磨材料制成復合磨料，采用超聲水煮法對原料進行改性，通過添加ＰＶＰ作為分散劑等，進一步地提高研磨的效率和研磨后的產(chǎn)品質(zhì)量。

１１ 一種懸浮拋光液及其制備方法和碳化硅的拋光方法

       提供的懸浮拋光液懸浮能力好、單位時間內(nèi)碳化硅移除率高和表面粗糙度低、不易堵塞拋光設備管路、不污染拋光墊、不影響碳化硅器件性能并且不易劃傷碳化硅。

１２ 一種用于增材制造的金屬粉末研磨液配方和工藝

       研磨方法研磨液包括以下組分：油性有機溶劑７０?８０份；懸浮劑１０?１５份；磨料１５?２０份；其中，懸浮劑包括大環(huán)多元醚或大環(huán)聚醚；磨料為絡合劑和表面活性劑包覆的金剛石顆粒；懸浮劑與絡合劑交聯(lián)。提供的技術(shù)方案采用絡合劑和表面活性劑對金剛石顆粒進行表面包覆，進而配合懸浮劑使得磨料的懸浮性能更好，不容易沉底，提高了研磨的效率。

１３ 一種用于碳化硅襯底研磨用團聚鉆石液的制備方法

       有別于傳統(tǒng)單晶鉆石液，該研磨液搭配鑄鐵盤使用，并且采用水基體系，加入了聚丙烯酸改性的三維立體懸浮劑，確保單晶金剛石顆粒能均勻分布，并且能形成穩(wěn)定液膜，提高研磨速率，從傳統(tǒng)的０．５ｕｍ／ｍｉｎ提高到１．０ｕｍ／ｍｉｎ以上；該體系采用亞硝酸鹽、磷酸鹽、硅酸鹽做為分散劑及防銹劑，確保金剛石顆粒的分散性能，避免軟團聚的形成；并采用了超尺寸顆粒分離技術(shù)，對超大顆粒金剛石進行分離，避免劃傷不良；采用高速乳化分散頭對水基體系進行攪拌分散，確保液體的均一性。

１４ 一種金剛石用拋光液及金剛石襯底的拋光方法

       屬于金剛石拋光技術(shù)領域。該拋光液包括金剛石微粉、三價鐵鹽、雙氧水和水，所述拋光液中金剛石微粉、三價鐵鹽、雙氧水和水的重量比為（０．０２～０．１）：（０．０２～０．１）：（０．０５～０．１）：１，雙氧水中過氧化氫的濃度為３０％。拋光液通過使用微溶于水的鐵鹽來實現(xiàn)鐵源的供給，能夠在雙氧水的存在下實現(xiàn)羥基自由基的穩(wěn)定供應，從而有效去除金剛石表面的雜質(zhì)，實現(xiàn)對金剛石表面的原子級粗糙度的控制。

１５ 一種金剛石用研磨液及金剛石襯底的研磨方法

       屬于金剛石研磨技術(shù)領域。該研磨液包括金剛石微粉、碳化硼微粉、雙氧水和水，所述研磨液中金剛石微粉、碳化硼微粉、雙氧水和水的重量比為（０．０８～０．１５）：（０．０８～０．１５）：（０．０５～０．１０）：１，所述雙氧水中過氧化氫的濃度為３０％。研磨方法中采用含有雙氧水的研磨液與表面固定有金剛石微粉的研磨盤相互協(xié)同，能夠?qū)崿F(xiàn)對金剛石襯底的均勻且高效研磨，顯著降低研磨后的金剛石襯底的粗糙度并提高成品率，提高了金剛石襯底的應用前景。

１６ 再造金剛石研磨液和廢棄金剛石研磨液的回收再利用方法及應用

       該方法的裝置提供的再造金剛石研磨液，其包括添加劑和廢棄金剛石研磨液；提供的回收再利用方法能夠?qū)U棄金剛石研磨液回收得到再造金剛石研磨液，回收得到的金剛石研磨液的性能能夠恢復至和使用前的性能相當，符合再利用要求；通過提高廢棄研磨液的質(zhì)量，實現(xiàn)研磨液的循環(huán)利用，從而降低了機械研磨工藝的成本，且循環(huán)利用的工藝簡單，易于實現(xiàn)操作。

１７ 一種拋光效率高的鈦合金拋光液及其制備方法

       該拋光效率高的鐵合金拋光液及其制備方法，擰攘酸性溶劑為環(huán)保型液體，即其在拋光的過程中不會產(chǎn)生有毒有害氣體以及廢液，從而使得拋光液與傳統(tǒng)的拋光液相較更為環(huán)保，且不會對工作人員的身體健康造成不良影響，此外由改性氧化鋯粉和改性金剛石粉構(gòu)成拋光料和聚乙二醇可有效提高拋光液的耐磨性能，并以此提高昆拋光液的拋光效率，同時改性氧化鋯粉和改性金剛石粉均為可回收物質(zhì)，進而便于降低其生產(chǎn)成空本。

１８ 一種抗腐蝕金剛石研磨液及其制備方法

       按重量份數(shù)計，所述研磨液包括以下原料：改性金剛石０．５?５份，氧化劑０．２?５份，ｐＨ調(diào)節(jié)劑０．１?３份，緩蝕劑２?５份，潤滑劑０．１?２份，穩(wěn)定劑０．３?５份，去離子水７５?９０份。提供的研磨液具有抗腐蝕以及高分散性的性能，可以廣泛應用于精密研磨拋光領域，具有較好的商業(yè)應用價值。

１９ 一種金剛石研磨液及其制備方法

       該研磨液是由改性磨料、有機溶劑和表面活性劑組成。該金剛石研磨液具有研磨效率高、磨料分散均勻，懸浮穩(wěn)定性好，長時間放置不會產(chǎn)生沉降分層現(xiàn)象，解決了市面上產(chǎn)品存在的金屬腐蝕及團聚、分層等問題，對環(huán)境無污染。

２０ 一種金剛石研磨液配方和工藝

       制備方法由以下重量份的原料制備而成：金剛石微粉０．５～６份、高分子微球０．０２５～２份、分散劑０．１～５份、懸浮劑０．２～５份、ＰＨ調(diào)節(jié)劑０～１份、去離子水６０～９０份。金剛石研磨液組成配比科學，能夠提高熔石英研磨加工的效率，減少深劃傷，改善表面加工質(zhì)量，縮短加工周期。

２１ 一種氮化鎵晶圓的綠色拋光液配方和工藝

       一種以芬頓反應為氧化劑、金剛石為磨粒的氮化鎵晶圓的綠色拋光液，采用的拋光液打破了芬頓反應ｐＨ不大于３的限制，使拋光液在偏中性環(huán)境中仍有較好的氧化性，且拋光液穩(wěn)定性較好，綠色無污染，拋光效果好。

２２ 一種油基熱敏活性研磨液及微波輔助固結(jié)磨料研磨方法

       微波誘導熱敏性研磨液中熱分解型引發(fā)劑分解產(chǎn)生強化學潔性的自由基，快速對機械力作用下的硬脆材料進行化學改性，促進基體表面產(chǎn)生一層相對更軟的改性層；微波加熱作用下，熱敏潔性研磨液作為傳導介質(zhì)將熱量傳遞到待加工工件表面，提高工件表層改性層材料的塑性司變形能力；金剛石固結(jié)磨料磨盤機械去除被微波３５　加熱軟化的工件表層材料，低硬度的改性層破碎、層狀剝落，快速暴露的新生面被進一步改性和去除，獲得高的加工效率。

２３ 一種銅觸指和光通訊基座銅鎢零件的表面拋光處理方法

       包括Ｓｌ、粗磨前準備：將研磨的銅觸指產(chǎn)品或者光通訊基座古同生鳥產(chǎn)品和塑磨石、金剛石研磨液、硬脂酸臂、自來水加入研磨機中ｊＳ２　、粗磨：粗磨１－１．２ｈ后排出廢水再次粗磨ｊＳ３　、精拋前準備：將粗磨后的銅觸指產(chǎn)品或者光通訊基座古同生鳥產(chǎn)品與氧化錯拋光球、磨光亮劑、自來水加入研磨機中；但、精拋：精拋時長為１５ｍｉｎ，排出廢水后再震動出料；操作簡單，完全靠工藝保證，再添加研磨液和拋光液，達到觸指和光通訊基座銅鎢零件表面需要去毛刺和表面拋光效果。

２４ 一種堿性?耐熱?多尺寸磨粒磁流變拋光液及其制備方法

       涉及超精密加工技術(shù)領域，為解決現(xiàn)有磁流變拋光液大都穩(wěn)定性較差，較高溫度下固體顆粒易發(fā)生沉降，且磁流變拋光液的磨粒大都為單一種類和尺寸，限制材料去除率的進一步提升。提升了材料去除率，提高石英玻璃元件的拋光效率；并進一步降低拋光粗糙度，有利于加工出高質(zhì)量表面。

２５ 一種反應燒結(jié)碳化硅表面拋光的方法和裝置

       通過芬頓輔助拋光液，結(jié)合本申請?zhí)厥獾难b置，來拋光反應燒結(jié)碳化硅陶瓷制品，能夠取得非常好的拋光效果，不司僅具有高光潔度、低表面粗糙度，還能夠提高碳化硅陶瓷制品表面的機械強度和耐磨性。

２６ 一種適用于塑膠型眼鏡材料的研磨膏配方和工藝

       減少了常規(guī)的金剛石微粉的添加量，加入了一定量的納米金剛石＠硅化釹鉭多孔微球，目的在于改善現(xiàn)有金剛石微粉性能的不足。經(jīng)過后續(xù)檢測發(fā)現(xiàn)，配方得到的研磨膏，不僅分散性更強，不易產(chǎn)生沉淀，而且去除率得到增強，拋光效果也更好。

２７ 一種摻雜金屬納米顆粒的單晶金剛石拋光液配方和工藝

       包括單晶金剛石微粉５０?１５０份，金屬納米顆粒１０?３０份，分散二氧化硅微球５?１０份，氧化石墨烯１５?３０份，潤濕劑１?２份，表面活性劑１?２份，防銹劑１?２份，消泡劑１?２份，黏度調(diào)節(jié)劑１?２份，質(zhì)量分數(shù)為２６?３０％的雙氧水溶液１０００?４０００份，濃度為０．１?１ｍｏｌ／Ｌ的硫酸鐵溶液０．１?１０份。其中分散二氧化硅微球以水楊酸鈉和十六烷基三甲基溴化銨為結(jié)構(gòu)導向劑，以三乙醇胺為催化劑，將正硅酸乙酯水解后膠束自組裝，再經(jīng)煅燒得到。

２８ 一種具有光催化輔助功效的拋光液及其制備方法

       具有較高的懸浮穩(wěn)定性，拋光效率高，散熱快，可適用于硬質(zhì)合金、陶瓷、光學玻璃、寶石、集成電路等多種材料的拋光加工；本發(fā)明利用超紫外線進行光催化來進行輔助來提高拋光液中粒子的動能，通過機械作用與化學作用進行緊密的結(jié)合，從而顯著的彌補了機械作用產(chǎn)生的較大尖凸出現(xiàn)，造成粗糙度增加的現(xiàn)象的發(fā)生，有效降低了機械作用產(chǎn)生的多種缺陷，大幅度的提高了表面拋光質(zhì)量。

２９ 一種微納氣泡輔助光催化拋光單晶金剛石雙組分拋光劑及其制備方法

       它包括Ａ組分和Ｂ組分，所述Ａ組分包括催化劑、氧化劑１、ｐＨ調(diào)節(jié)劑、微納氣泡水，所述Ｂ組分為磨料、微納氣泡水、氧化劑２。使用時將Ａ組分與Ｂ組分以一定速率同步滴加于工件表面，在紫外光照的條件下實現(xiàn)材料的高效去除。拋光劑成分簡單、組分無毒、對環(huán)境友好。采用雙組分的形式，有效的避免了拋光劑可能失效的問題，保留了拋光劑強氧化性能，使其在單晶金剛石拋光過程中更好的發(fā)揮作用。

３０ 一種拋光液及ＣＨ３ＮＨ３ＰｂＩ３晶體拋光方法

       該拋光液可有效均衡ＣＨ＜ｓｕｂ＞３＜／ｓｕｂ＞ＮＨ＜ｓｕｂ＞３＜／ｓｕｂ＞ＰｂＩ＜ｓｕｂ＞３＜／ｓｕｂ＞晶體化學機械拋光過程中的機械作業(yè)和化學反應作用，使得ＣＨ＜ｓｕｂ＞３＜／ｓｕｂ＞ＮＨ＜ｓｕｂ＞３＜／ｓｕｂ＞ＰｂＩ＜ｓｕｂ＞３＜／ｓｕｂ＞晶體化學機械拋光處理過程高效、穩(wěn)定，并大幅提高了晶體化學機械拋光的質(zhì)量，獲得優(yōu)質(zhì)的拋光表面，提高晶體的物理、電學性能，實用性好。

３１ 一種拋光硅片的金剛石拋光液配方和工藝

       各質(zhì)量比的混合后攪拌均勻，后超聲設備中震蕩１０?１５ｍｉｎ，長時間存放基本不產(chǎn)生沉淀，拋光質(zhì)量穩(wěn)定，沒有對人體有害成分，有利環(huán)保。

３２ 一種研磨液、制備方法及用途

       采用堿或酸處理將金剛石團聚體預分散，通過加入潤濕劑、分散穩(wěn)定劑和抗防腐劑使金剛石穩(wěn)定分散，制備了一種金剛石研磨液。在該分散體系中，金剛石能夠穩(wěn)定、均勻分散。該方法制備的金剛石研磨液可以廣泛地應用于精密研磨拋光領域。

３３ 一種用于鈀和銅化學機械拋光的拋光液及其制備方法和使用方法

       針對厚度相同的鈀和銅共面材料，采用上述拋光液能夠?qū)崿F(xiàn)工件表面多余材質(zhì)的去除與全局納米級平坦化，避免金屬交聯(lián)因多層疊加效應而喪失工件平坦度，便于后續(xù)光刻工藝的進行。

３４ 一種可提升耐磨度的研磨體及其制備方法配方和工藝

       通過先將錫粉、鐵粉／鎮(zhèn)粉／鉆粉／恪粉／鐵粉、稀土粉和銅粉經(jīng)混合、熔煉和霧化形成銅稀土合金粉，再使銅稀土合金粉與金剛石粉結(jié)合，＇銅稀土合金粉對金剛石粉的潤濕性非常好，有效提高了研磨休的內(nèi)部結(jié)合力，有利于延長使用壽命，耐磨度得到了大幅的提升，滿足使用的需要。

３５ 一種用于鎳基單晶高溫合金各向異性等速去除的拋光液配方和工藝

       通過調(diào)整氧化劑濃度和國值對鎮(zhèn)基單晶高溫合金不同晶面的各向異性進行等速去除，并且使得鎮(zhèn)基單晶高溫合金獲得亞納米級表面粗糙度和趨近于零的亞表面損傷。

３６ 一種金剛石研磨液的制備方法

       采用堿或酸處理將金剛石團聚體預分散，通過加入潤濕劑、分散穩(wěn)定劑和抗防腐劑使金剛石穩(wěn)定分散，制備了一種金剛石研磨液。在該分散體系中，金剛石能夠穩(wěn)定、均勻分散。該方法制備的金剛石研磨液可以廣泛地應用于精密研磨拋光領域。

３７ 一種光化學機械研磨方法及光敏活性研磨液配方和工藝

       研磨的步驟為：搭建光化學機械研磨平臺；啟動光化學機械研磨平臺對金剛石固結(jié)磨料研磨盤進行對磨；調(diào)整紫外光ＬＥＤ燈得到合適波長和強度的紫外光，利用紫外光輻照能量誘導光敏研磨液中光尋｜發(fā)劑復配物裂解產(chǎn)生苯甲酷和炕基自由基，引發(fā)工件表面材料形成硬度低、彈性模量小和斷裂韌性高的改性層，對磨改性層得到研磨后的工件。配置光敏活性研磨液，利用光敏研磨液對機械力作用的工司件進行紫外光可控化學改性，減小甚至消除機械應力去除造成的加工損傷，從而實現(xiàn)難加工材料提高質(zhì)量高效率超精密加工。

３８ 用于拋光例如具有大于約６的莫氏硬度的硬質(zhì)材料

       硬質(zhì)材料的經(jīng)改進漿液（美國）示范性硬質(zhì)表面包含藍寶石、碳化硅、氮化硅及氮化鎵及金剛石。在組合物及方法中，令人驚訝地發(fā)現(xiàn)包括添加劑的唯一組合的新穎組合物在漿液中均勻地分散具有廣泛范圍的顆粒大小的金剛石顆粒。一般堿性漿液組合物能夠利用大于４０微米的金剛石顆粒大小同時實現(xiàn)良好移除速率。在此類情況下，當與適合墊一起利用時，以均勻表面損害對碳化硅、氮化硅、藍寶石、氮化鎵及金剛石進行快速且平坦研磨是可行的。

３９ 一種有機膜研磨組合物以及利用其的研磨方法（韓國）

       其特ｆ正在于：包含將親水性基團和疏水性基團均包含在內(nèi)的研磨促進劑，不僅是聚合物（Ｐｏｌｙｍｅｒ）　、ＳＯＣＳＯＨ　，還對于通過共價鍵強鍵合的有機膜，如，無定形碳膜（ＡＣＬ）　或類金剛石碳（Ｄｉａｍｏｎｄ－Ｌｉｋｅ?。茫幔颍猓铮睢?，　ＤＬＣ）　，也可以保持高研磨速度。

４０ 一種金剛石研磨膏及其制造方法

       金剛石研磨膏主要由以下組分組成：研磨微粉、液體油和研磨助劑；通過加入球形氧化鋁粉來改善金剛石微粉的分散性能及研磨性能，同時，在研磨過程中球形氧化鋁粉也起到了降低研磨盤盤溫的作用；通過加入金屬銅粉、潤滑劑、抗磨劑并采用特定的液體油等方式來降低研磨過程中的研磨盤盤溫以及降低被加工工件的表面粗糙度；通過加入特定的雙親性有機物來改善金剛石研磨膏的清洗性能；通過添加增稠劑來調(diào)節(jié)研磨膏的稠度，進而改善其使用性能及研磨性能。

４１ 一種穩(wěn)定全懸浮研磨用金剛石研磨液配方和工藝

       相較于現(xiàn)有的半懸浮或無懸浮狀態(tài)的研磨液，產(chǎn)品具有更好的產(chǎn)品品質(zhì)觀感；將其應用于研磨加工時性能穩(wěn)定，有更好的加工效率和加工表面質(zhì)量；應用于研磨拋光液的批量化生產(chǎn)時，無沉降聚集造成灌裝不均的隱憂，可實現(xiàn)批量化穩(wěn)定生產(chǎn)。

４２ 一種高效低損傷金剛石研磨液配方和工藝

       該金剛石研磨液用于雙面研磨時，可均勻分布于硬質(zhì)研磨盤面，無返稀或分布缺失問題發(fā)生，可減少劃傷產(chǎn)生，避免局部溫度過高造成幾何參數(shù)失控；同時其增稠減粘特性，在形成軟性緩沖層保障效率抑制劃傷的同時，也可實現(xiàn)研磨液的及時更新，穩(wěn)定研磨加工性能。

４３ 一種濃縮型水性研磨助劑配方和工藝

       將濃縮型水性研磨助劑應用于碳化硅、氮化鎵晶圓研磨加工，可大大降低直接使用金剛石研磨液成品的加工成本；同時可對金剛石磨料顆粒進行快速分散懸浮，并形成具有觸變特性的穩(wěn)定懸浮液。潤滑劑在使用過程中可以有效降低研磨過程中的摩擦阻力，增加潤滑性，有效改善研磨表面質(zhì)量，并大大縮短后道晶圓拋光時間。

４４ 一種超硬半導體襯底材料研磨拋光用鉆石粉體的制備方法制備方法

       包括對初選金剛石進行預處理得到純化金剛石顆粒，將金剛石顆粒與球混合物混合，經(jīng)過球磨處理得到 混合物，將混合物純化處理得到金剛石粉，對金剛石粉進行有機處理制得改性金剛石粉。對金剛石粉進行有機處理得到改性的金剛石粉，在制備的過程中，引入了較多的有機基團，增加了金剛石粉的親油性，從而可以使其穩(wěn)定在懸浮在拋光液中，也不會溶液團聚，從而可以保證拋光液的質(zhì)量，進而可以提高研磨拋光質(zhì)量，從而可以使研磨拋光后的超硬半導體襯底材料表面更加平整。

４５ 一種復合型拋光液及其制備方法

       包覆型氧化鈰為表面包覆有聚合物的磨料氧化鈰，聚合物為六亞甲基四胺、甲氧基聚乙二醇甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、４?羥基苯并三唑丁酯中的任意兩種。技術(shù)方案能夠有效提升碳化硅器件表面的機械去除速率，降低碳化硅器件表面粗糙度，并能夠降低劃傷風險以提升碳化硅器件表面拋光質(zhì)量。

４６ 一種油性金剛石拋光液、其制備方法及用途

       金剛石磨料為類多晶、多晶、單晶和聚晶中的兩種或多種混合磨料。所述油性劑為烷烴與礦物油的混合物。本發(fā)明還公開了油性金剛石拋光液的制備方法，及其在藍寶石拋光領域的用途。油性金剛石拋光液安全、環(huán)保、高效，對藍寶石襯底無腐蝕。在相同磨料下，油性金剛石拋光液與水性拋光液相比較，具有較高的移除率以及較低的粗糙度。

４７ 一種制備金屬用的拋光膏及其制備方法

       有益效果是：通過以十二烷基苯磺酸納、磷酸鹽，葡萄糖酸納等材料作為主要添加劑，增加了研磨膏的粘稠度、ｆ曾ｉ容性、緩蝕度，并通過硅酸納、鉬酸胺等材料作為絡合劑，能使不銹鋼表面發(fā)生選擇性洛解，形成富恪表面層而增強耐蝕性；通過石灰、長石粉或金剛石微粉的一種或混合作為主司要研磨料，可以更好的對金屬表面進行研磨，去除毛刺和劃痕等，并通過光亮劑對羥基苯甲酸作為搭配，提高拋光的效率。

４８ 一種金剛石拋光液及其制備方法金剛石拋光液的制備方法

       包括以下步驟：以金剛石粉末、脂類、醇類、脂肪酸和礦物油為原料，制備拋光膏；將所述拋光膏分散于十二烷基磺酸鈉溶液中，得到拋光中間液；將所述拋光中間液與水混合，得到金剛石拋光液。解決了現(xiàn)有的拋光材料對鎳質(zhì)模仁表面進行拋光的拋光效果較差的技術(shù)問題。

４９ 一種混合磨料、包含其的光學石英玻璃拋光液、制備方法及用途

       包括重量配比如下的各組分：混合磨料０．５?２份；分散劑１?４份；ｐＨ調(diào)節(jié)劑０．１?１份；絡合劑２?１０份；潤濕劑０．５?２份；超純水３０?８０份?；旌夏チ蠟榻饎偸徒饘傺趸锏膹秃夏チ希摶旌夏チ系膾伖庖哼m用于石英玻璃的拋光，對石英玻璃無腐蝕，同時具有較高的去除率以及低于１ｎｍ的粗糙度。

５０ 一種添加納米金屬的單晶金剛石高精度拋光劑

       單晶金剛石拋光劑的制備技術(shù)領域。解決現(xiàn)有方法針對單晶金剛石各向異性，并滿足不同原子面拋光需求。拋光劑由包覆石墨烯的納米金屬顆粒、溶劑、分散劑、ｐＨ調(diào)節(jié)劑和表面活性劑合成。在拋光過程中，制備的拋光劑可以催化單晶金剛石石墨化、促進化學效應、削弱機械作用帶來的金剛石表面解理剝落、減少大顆粒金剛石磨屑的形成，防止對拋光面造成二次損傷。

５１ 一種基于碳化硅陶瓷片拋光的雙ｃｍｐ拋光液配方及拋光方法

       在對碳化硅陶瓷板打磨之前，把碳化硅陶瓷板放置在酸性ｃｍｐ拋光液內(nèi)浸泡，酸性ｃｍｐ拋光液內(nèi)的高錨酸押可以對碳化硅陶瓷板的表面進行氧化作用，軟化表面，然后在碳化硅陶瓷板打司磨過程中添加堿性ｃｍｐ拋光液進行機械打磨，在２３　堿性ｃｍｐ拋光液中的金剛石微粉和磨料的作用，可以大大提高碳化硅陶瓷板的打磨效率。

５２ 一種氧化鋯陶瓷手機背板減薄用金剛石研磨液的制備方法

       將原料表面多刃化金剛石微粉置于容器中，然后加入去離子水和分散劑超聲攪拌均勻，然后濕法研磨分散，得到金剛石微粉懸浮液；在所得金剛石微粉懸浮液中依次加入保濕劑、懸浮劑、消泡劑分別進行攪拌均勻；消泡劑加入后的金剛石微粉懸浮液中加入ｐＨ調(diào)節(jié)劑攪拌均勻，調(diào)節(jié)其ｐＨ值為７～１０，最后加入去離子水配制得到表面多刃化金剛石微粉研磨液。本發(fā)明的金剛石研磨液在研磨拋光過程中，采用表面多刃化金剛石微粉，具有高效減薄，并能得到低的表面粗糙度。

５３ 一種用于超硬材料的固體金剛石研磨劑及制備方法

       軟磨劑為氧化鋁、分散劑為乙醇、水和甘油、賦形劑為硬脂酸、芳香劑為檸檬香精、抗氧化劑為改性納米氧化鋅、光亮劑為硼硅酸鈉鈣、增稠劑為羥甲基纖維素鈉、膨脹劑為月桂醇硫酸酯鈉，不僅增強了研磨效果，使用直接方便，同時解決了傳統(tǒng)研磨劑在使用時需要加稀釋劑再使用、不能水洗、難以清潔、存放時間短、性能不穩(wěn)定、使用時容易四處飛濺問題。

５４ 一種用于單晶金剛石化學機械拋光加工的拋光液及其制備方法

       制備方法包括向單晶金剛石微粉加入Ｈ＜ｓｕｂ＞２＜／ｓｕｂ＞Ｏ＜ｓｕｂ＞２＜／ｓｕｂ＞溶液、震蕩、將配置好的Ｆｅ＜ｓｕｂ＞２＜／ｓｕｂ＞（ＳＯ４）＜ｓｕｂ＞３＜／ｓｕｂ＞溶液添入，調(diào)整其ＰＨ值至２～４，得到拋光液。提供的拋光液具有較大的氧化能力和去除率，實現(xiàn)了金剛石的高質(zhì)高效加工。

５５ 一種寶石閥座密封槽用研磨拋光膏及其制備方法

       解決研磨拋光膏在寶石閥座密封槽加工過程中容易在密封槽表面形成絲劃，表面精度差，表面光潔度低，與工件的粘茹性差，從而導致寶石閥座密封性差，生產(chǎn)效率低，生產(chǎn)成本高的問題。

５６ 一種可懸浮金剛石研磨液及其制備方法研磨液配方和工藝

       包括：金剛砂、去離子水、氧化鋁球、分散劑、水溶性膠體。制備方法包括金剛砂的表面潤濕改性、金剛砂的球磨混合、復合分散劑的使用、水溶性膠體的添加等工藝模塊。解決了現(xiàn)有技術(shù)中金剛砂在溶劑中的分散效果差的問題。廣泛應用于微波陶瓷的研磨工藝中。

５７ 一種多晶硅環(huán)的化學機械拋光方法

       在粗拋過程中將含有納米金剛石的拋拋液分散在無紡布拋光墊上，粗拋液中氧化鋁微粉能夠降低硅環(huán)表面粗糙度，減小亞表面損傷層深度，提高拋光效率，在精拋過程中，精拋液能夠?qū)崿F(xiàn)化學作用司與機械作用的良好匹配，保證拋光硅晶片高去除速率的同時，避免拋光霧等缺陷的形成，提高拋革光后表面質(zhì)量，拋光方法后硅環(huán)平面度＜２０μＬ破損層ＤＯＤ＝Ｏｕｍ　，經(jīng)檢測拋光合格。

５８ 一種碳化硅晶片加工用研磨液及其制備方法

       制備時，取金剛石微粉于分散劑和懸浮劑中，加入水，形成兩相混合物，以離心分離，利用兩相介質(zhì)密度差分離去除粗顆粒的金剛石微粉，將粒度更加集中的金剛石微粉分散于分散劑和懸浮劑中即可得到碳化硅晶片加工用研磨液。研磨液中，金剛石微粉粒度更加集中，粗大顆粒數(shù)目遠小于傳統(tǒng)方法制得的金剛石研磨液，從而有效避免大顆粒金剛石劃傷碳化硅晶片。

５９ 一種改性金剛石粉、制備方法、用途及包含其的拋光液配方和工藝

       改性金剛石粉表面功能團實現(xiàn)均一化，同時利用空間位阻作用使金剛石粉在拋光液中均勻完全分散，提高懸浮性，減少團聚。該拋光液具有安全、環(huán)保、高效、高懸浮性、高分散性的優(yōu)點，該拋光液可長時間保持高分散狀態(tài)，幾乎無二次團聚，極大的提升了拋光后藍寶石表面質(zhì)量。

６０ 一種球形磨料、制備方法、用途及包含其的藍寶石研磨液配方和工藝

       球形磨料由金剛石微粉、氧化鋁粉和氧化硅粉混合燒結(jié)而成，將金剛石微粉固結(jié)在球形磨料中，增加金剛石切削銳角與藍寶石晶片接觸面積。包括上述球形磨料、金剛石磨料、懸浮劑、潤滑劑、ｐＨ調(diào)節(jié)劑、潤濕劑、分散劑、防銹劑和水。能在保證晶片表面質(zhì)量的前提下，提高研磨效率，降低加工成本。采用藍寶石研磨液研磨得到的藍寶石襯底表面粗糙度低、平整度好、無明顯劃痕。藍寶石研磨液具有非常良好的應用前景和大規(guī)模工業(yè)化推廣潛力。

６１ 一種綠色可見光催化輔助金剛石化學機械拋光液配方和工藝                                                                                         

      使用由氧化劑、磨料、可見光光催化劑、螯合劑和去離子水組成的拋光液在可見光照射下對金剛石化學機械拋光，所述拋光液氧化劑的濃度為１５ｗｔ％～２５ｗｔ％，磨料濃度為４０～８０ｇ／ｌ，可見光光催化劑的濃度為０．０２６６７～０．２６６７ｇ／ｌ，螯合劑濃度為０．５～２ｍＭ，去離子水的重量百分比為６７％～８１％。拋光后，表面粗糙度為０．１１１ｎｍ，材料去除率為４１６ｎｍ／ｈ。實現(xiàn)了綠色、高效、高質(zhì)量化學機械拋光金剛石。

６２ 一種碳化硅晶片電化學機械拋光方法

       利用碳化硅晶體在ＮａＮ０３　電解液中發(fā)生的陽極氧化反應末實現(xiàn)碳化硅晶片的高效拋光，在拋光液中使用小粒徑金剛石磨料，可起到為氧化過程提供應力源的作用，加快陽極氧化的發(fā)生，從而提高拋光效率。另外，本發(fā)明能夠顯著提高碳化硅晶片的拋光速率，在精拋階段也能保證好的言表面質(zhì)量。

６３ 一種用于光纖接頭端面的拋光液組合物

       具體含有納米金剛石＠沸石咪唑金屬框架材料（ＺＩＦ?８）復合磨粒、纖芯下陷抑制劑、分散劑、表面活性劑和去離子水；采用提供的光纖接頭拋光液組合物對光纖接頭端面進行拋光，可有效降低光纖接頭端面的表面粗糙度，并具有低的纖芯下陷，提高了光纖接頭加工的成品良率。

６４ 一種自修整熱固化型固結(jié)研磨料及其制備方法

       涉及精密研磨與拋光加工技術(shù)領域，由聚氨酯改性環(huán)氧樹脂、改性石墨、分散劑、磨料、陶瓷結(jié)合劑均勻混合固化而成；其中，磨料為碳化硅和金剛石按照質(zhì)量比１．?。玻玻海薄』旌系玫降幕旌衔?。申請的改性石墨配合聚氨酯改性環(huán)氧樹脂，使聚氨酯改性環(huán)氧樹脂的表面和內(nèi)部形成一定密度的磨粒層，提高拋光的均勻性和拋光效率，且實現(xiàn)拋光墊的自修整功能，從而獲得穩(wěn)定的拋光能力。

６５ 一種拋光磨料的生產(chǎn)制備工藝該拋光磨料的生產(chǎn)制備工藝

       提高打磨上光，遇水乳化，易分散溶解，覆蓋在拋光磨料的表面與金剛石微粉顆粒形成一種類似拋光膏的作用，聚氨酯絨毛粉替代傳統(tǒng)羊毛，使被拋光物體的表面更細膩，光度更均勻，避免被拋光的物體表面留下打磨的螺旋紋，同時避免了傳統(tǒng)拋光磨料在制備時需要對羊毛進行繁瑣的處理過程，提高了生產(chǎn)效率。